菲希爾X射線測厚儀鍍金層儀器

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ特點

功能強大的高級型號，用于最小結(jié)構(gòu)和小于 0.1 µm 的最薄涂層的精確涂層厚度測量和材料分析

帶鎢靶的微聚焦射線管；可選鉬靶

4種可切換的濾波器

極其強大的硅漂移探測器，有效面積為20 mm2或50 mm2，可實現(xiàn)最高精度的薄膜檢測

內(nèi)部制造的多毛細管光學元件，最小的測量點可低至 10μm FWHM，測量時間短，強度高

數(shù)字脈沖處理器DPP+，用于提高計數(shù)率，減少測量時間或提高測量結(jié)果的重復性

分析從 Al(13) 到 U(92) 的元素，可提供氦氣吹掃，可同時測量多達24種元素

高精度、可編程的 XY 平臺，定位精度 < 5 µm，可實現(xiàn)的樣品定位和自動圖案識別，實現(xiàn)最佳的重復精度

典型的應用領(lǐng)域

在非常小的平面元件和結(jié)構(gòu)上進行測量，如印刷電路板、觸點或引線框架

測量電子和半導體工業(yè)的功能涂層

分析非常薄的涂層，例如，≤0.1微米的金/鈀涂層

測定復雜的多涂層結(jié)構(gòu)

自動測量，例如在質(zhì)量控制中

磁性探頭型號：FGAB1.3-150

內(nèi)部測量探頭帶微處理芯片。彈性測量系統(tǒng)帶紅寶石尖。適合于直徑 9mm以上的孔。手柄至測量頭的長度為 150mm ,等于管子端部到測量點的 距離。

電纜長度： 1.5m  ( 5’)

測量范圍：0 - 800um（NF/Fe)——0 - 32 mils

測量誤差：-0-200um：1um——200-800um：0.5%

渦流探頭型號：FAI3.3-150

內(nèi)部測量探頭帶微處理芯片。彈性測量系統(tǒng)帶紅寶石尖。適合于直徑 9mm以上的孔。手柄至測量頭的長度為 150mm ,等于管子端部到測量點的 距離。

電纜長度： 1.5m  ( 5’)

測量范圍：-0 - 800um（ISO/NF)——0 - 32 mils

測量誤差：-0-200um：1um——200-800um：0.5%